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表面粗糙度测量是评估零件表面特性的重要手段.经过二十多年的发展,三维表面粗糙度逐渐成为反映工件表面特性的重要指标.本文总结并比较了接触式测量法、非接触式测量法和纳米表面粗糙度分析法中常用三维表面粗糙度的测量原理及特点.针对每种测量方法的发展现状,本文讨论了其适用范围及局限性,并指出了未来的发展方向.
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光学精密工程
ISSN： 1004-924X
Year： 2019
Issue： 1
Volume： 27
Page： 78-93
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