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采用真空蒸发镀膜技术设计制作了以云母为基片的薄膜热传感器,传感器包括一个用于热流测量的热电堆和一个用于温度测量的热电偶.综合测试发现:云母基片薄膜热传感器性能良好.封装后,薄膜热电偶的静态标定拟合直线相关系数均可以达到0.999.薄膜热流计的静态标定拟合直线的相关系数为0.99439,测头系数为8.78886 W/(m2?μV),灵敏度为0.11378 μV/(W/m2).薄膜热电偶的动态响应时间是0.446 s且具有良好的复现性.随着加载热流的增大,薄膜热流计的动态响应时间变大,阶跃热流值为600 W/m2时响应时间为0.483 s.
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化工学报
ISSN： 0438-1157
Year： 2019
Issue： z2
Volume： 70
Page： 123-129
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