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为了提高倒装发光二极管 (LED) 光提取效率的同时实现单偏振光输出, 建立了正装、倒装和集成金属亚波长光栅倒装LED 3种模型, 采用RSOFT软件进行仿真对比及器件优化, 并进行了理论分析和模拟验证.结果表明, 倒装LED虽然可以提高光提取效率但对P-GaN层厚非常敏感, 无法单偏振光输出;集成了金属亚波长光栅的倒装LED可以不受P-GaN层厚影响, 实现单偏振光输出, 但要输出稳定偏振光, 受光栅参量和介质过渡层厚度影响非常显著;优化后的结构可以实现57.63％的光提取效率, 偏振消光比达到25.8dB.该研究对制造高性能蓝光LED具有一定的指导作用.
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激光技术
ISSN： 1001-3806
Year： 2019
Issue： 2
Volume： 43
Page： 184-188
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