针对聚晶金刚石复合片精加工后需达到镜面级表面的指标要求,基于正交试验法优化聚晶金刚石复合片精加工工艺参数,采用极差分析法处理试验数据,并绘制试验指标与各试验因素间的关系曲线图,得出了各因素对表面粗糙度的影响规律,并以此为基础优化工艺参数,进行聚晶金刚石复合片镜面加工工艺优化研究.研究表明:抛光盘转速和研抛时间对工件表面粗糙度影响较大,各因素对表面粗糙度的影响程度按从大到小的顺序依次为:抛光盘转速、研抛时间、研抛压力和抛光液磨料粒度.采用优化后的最优工艺参数组合进行加工试验,当研抛压力为90　kPa、抛光盘转速为1200　r/min、抛光液磨料粒度为1　μm、研抛时间为30　min时,得到了表面粗糙度Ra为0.019　μm的质量表面,达到了聚晶金刚石复合片镜面加工(Ra<0.02　μm)的效果.