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非晶碳氢薄膜(a-C:H film)是一类具有亚稳态非晶结构的薄膜材料，具有许多优异特性，如极好的力学性能、光学透过性、生物相容性、极低真空摩擦系数等。文章介绍了不同沉积粒子在不同入射能量及角度的情况下，对非晶碳氢薄膜C、H原子含量、沉积率，薄膜粗糙度和sp3键组态的碳含量的影响。
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凝聚态物理学进展
ISSN： 2326-3512
Year： 2016
Issue： 02
Volume： 5
Page： 9-15
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