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利用分子动力学模拟方法研究了CH2基团轰击金刚石(111)面所形成的无定形碳氢薄膜(a-C:H)的生长过程.结构分析表明,得到的无定形碳氢薄膜中碳原子的局域结构(如C—C第一近邻数)与其中氢原子的含量密切相关.CH2基团入射能量的增加会导致得到的薄膜的氢含量降低,从而改变薄膜中类sp3成键碳原子的比例.
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物理学报
Year： 2015
Issue： 01
Volume： 64
Page： 348-355
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