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为克服传统光学方法测量半导体激光阵列 (LDA)Smile效应时存在的光学系统搭建精度要求高、测试人员素质要求高、后期数据处理繁杂测量时间长等缺点,通过用机械接触式台阶仪的探针扫描焊接后LDA芯片N面的方式,快速测量LDA的Smile效应,并将之与传统光学方法测量的Smile效应进行对比.结果表明,两者形态完全一致,差别小于1 μm.用台阶仪测量LDA Smile效应耗时小于1 min.此方法能为芯片焊接工艺优化Smile效应提供快速反馈,可方便集成在大批量生产流水线中对LDA的Smile效应进行实时监测.
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红外与激光工程
ISSN： 1007-2276
Year： 2015
Issue： 12
Volume： 44
Page： 3576-3579
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