采用O3/BAF和BAF/O3两种组合工艺对石化废水二级出水进行深度处理,探讨了在不同的臭氧投加量下,两种工艺对COD和NH3-N的去除效果,以及处理过程中废水中有机物分子质量分布的变化.结果表明,O3投加量为15　mg/L时,O3/BAF组合工艺对COD的去除率最高为32.8％,此时进、出水COD平均浓度分别为68.82、46.22　mg/L,但最高出水COD浓度＞50　mg/L.而对于BAF/O3组合工艺而言,由于臭氧氧化后置,臭氧投加量越大,对COD的去除率越高,O3投加量＞　20　mg/L时,BAF/O3工艺对COD的去除率要高于O3/BAF工艺,在O3投加量为25　mg/L时出水COD趋于稳定,且低于50　mg/L.SUVA和分子质量分布结果表明,在O3/BAF工艺中O3可以对废水起到预处理作用,使大分子物质转化为小分子物质,提高废水的可生化性,从而增强BAF单元对COD的去除效果.O3/BAF工艺的臭氧投加量为20　mg/L时,对NH3-N的去除效果最好,去除率为35.1％;而BAF/O3工艺对氨氮的去除与臭氧投加量的关系不大,试验过程中在12％左右.由于石化二级出水NH3-N平均在0.4～2.5　mg/L之间,可达到《污水综合排放标准》(GB　8978-1996)中一级标准的限值.从保障最终出水水质的要求来看,BAF/O3工艺更适用于石化二级出水的深度处理.