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周新田 (周新田.) | 吴郁 (吴郁.) | 胡冬青 (胡冬青.) | 贾云鹏 (贾云鹏.) | 张惠惠 (张惠惠.) | 穆辛 (穆辛.) | 金锐 (金锐.) | 刘钺杨 (刘钺杨.)

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CQVIP PKU CSCD

Abstract:

新型的电场终止型绝缘栅双极晶体管(FS-IGBT)改善了传统穿通型(PT) IGBT性能上的不足,但对于1 200 V以下器件需要超薄片加工.为打破加工技术的限制,用简易的厚片工艺实现薄片性能,可以在集电结附近设置载流子局域寿命控制层(LCLC)来改善器件性能.目前有两种方案:将LCLC区置于集电区内形成内透明集电极IGBT (ITC-IGBT);或置于缓冲层内,形成缓冲层局域寿命控制IGBT.对这两种结构的600 V器件结合具体参数进行了仿真和比较.仿真结果表明,两种结构的器件可实现几近相同的折中特性,但当LCLC区位于缓冲层内时,需要更低的局域寿命,且更易发生通态特性的回跳现象,影响器件性能.因此将LCLC区置于集电区,即形成ITC-IGBT结构是一个更好的选择,为探索用厚片工艺制造高性能IGBT提供了必要的参考.

Keyword:

回跳现象 缓冲层局域寿命控制IGBT 载流子局域寿命控制层(LCLC) 内透明集电极绝缘栅双极晶体管(ITC-IGBT) 折中特性

Author Community:

  • [ 1 ] [周新田]北京工业大学
  • [ 2 ] [吴郁]北京工业大学
  • [ 3 ] [胡冬青]北京工业大学
  • [ 4 ] [贾云鹏]北京工业大学
  • [ 5 ] [张惠惠]北京工业大学
  • [ 6 ] [穆辛]北京工业大学
  • [ 7 ] [金锐]国网智能电网研究院
  • [ 8 ] [刘钺杨]国网智能电网研究院

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Source :

半导体技术

ISSN: 1003-353X

Year: 2014

Issue: 2

Volume: 39

Page: 114-118,141

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