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介绍了采用CO2激光器对聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)板进行刻蚀制备微流道的工艺实验.通过实验分析工艺参数对微流道深度和宽度的影响及其中变化规律.结果表明,激光线能量密度与刻蚀微流道宽度两者关系呈指数增长,得到了线能量密度和微流道宽度的数学拟合公式,曲线和数据点拟合决定系数R2=0.96.当线能量密度小于300J/m时,微流道深度与线能量密度呈近似线性关系;当线能量密度大于300 J/m时,偏离线性关系.通过理论计算得到在低线能量密度下微流道深度的变化曲线图,并与实际测量值吻合较好.最后,通过优化工艺参数,制备出微流道宽度为170um,深度为180um的生物芯片.
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激光与光电子学进展
ISSN： 1006-4125
Year： 2011
Issue： 4
Volume： 48
Page： 56-61
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