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采用CO＜,2＞激光直写加工技术在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片表面直写微通道,分析了CO＜,2＞激光扫描速度和加工次数对加工质量的影响.在加工次数相同的情况下,微通道宽度和深度与扫描速度成反比,在一定速度范围内,微通道深度与扫描速度呈近似线性关系;在扫描速度一定的情况下,微通道的深度和宽度随着加工次数的增加逐渐增大,微通道宽度与加工次数呈不规则幂函数关系.分别在表面光滑、表面打毛和表面附着水膜的基片上加工微通道,并对通道的几何尺寸和粗糙度进行了比较分析.在2种不同实验条件下加工出水力直径为80 μm的微通道,并对微通道的相对粗糙度进行比较,发现通过在基片表面附着水膜的方法可以有效地降低相对粗糙度.这种工艺改进,能够使采用CO＜,2＞激光直写法加工PMMA基微流控芯片更可行.
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中国激光
ISSN： 0258-7025
Year： 2011
Issue： 6
Volume： 38
Page： 251-255
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