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介绍了GaN材料的优良特性以及工艺上存在的问题;着重介绍了GaN微电子器件的历史发展和最新发展;GaN微电子器件发展表现出较大应用潜力.
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河北省科学院学报
ISSN： 1001-9383
Year： 2011
Issue： 1
Volume： 28
Page： 49-55
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