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本实验运用MEMS技术在硅片上加工了一种新型电子冷却微泵-电液动力微泵,微泵由一组平面电极组成,施加直流来驱动流体.相关实验研究表明微泵的性能与施加电压、工作介质,电极结构和材料以及工作环境有关.
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工程热物理学报
ISSN： 0253-231X
Year： 2009
Issue： 5
Volume： 30
Page： 857-859
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