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对Al/SiO2、Al/ITO、Au/SiO2、Au/ITO构成的ODR(Omni-directional reflector)结构,对应400~800 nm的不同波长,在不同温度下,对于反光镜的反射率的影响,进行了研究.提出了在460 nm的蓝光波段,Al/SiO2金温度在500~700 K时,反射率会达到最小值,温度在700 K以上时,又到常温值,且略微增加;Al/ITO反射率是随着温度变化单调下降的,因此要在Al反光镜的表面采用Ti/Al/Ti/Au的结构,改善反光镜的特性;620 nm的红光波段,Au/SiO2和Au/ITO的合金温度在700 K时,具有最理想的反射率,且Au/SiO2结构的反射效果要优于Au/ITO结构.用实验的方式进行了验证,分析了可能造成反射率变化的原因.
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固体电子学研究与进展
ISSN: 1000-3819
Year: 2008
Issue: 3
Volume: 28
Page: 396-399
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