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对静电驱动微继电器、热驱动微继电器和电磁驱动微继电器的驱动原理和特点分别进行了分析,介绍了国内外具有代表性的几种微继电器的结构、制作工艺、关键部件的尺寸,并探索了静电驱动、热驱动和电磁驱动微继电器的发展前景.
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微纳电子技术
ISSN： 1671-4776
Year： 2007
Issue： 2
Volume： 44
Page： 88-92,110
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