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对于W通孔多层金属化系统来说,金属离子蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大.设计了12种不同的蓄水池结构,并进行电迁移实验;考察了蓄水池面积、通孔位置、数目及大小等对互连线的电迁移寿命的影响,得出蓄水池的面积是影响电迁移寿命的主要因素.
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Source ：
半导体技术
ISSN： 1003-353X
Year： 2007
Issue： 4
Volume： 32
Page： 320-323,338
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