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MEMS技术的发展,使得PCR微流控芯片的制备成为了现实.本文采用波长248nm的准分子激光作为一种新型的徽加工方法,在19KV电压和18mm/min的激光优化加工参数下,在40mm×63mm的PMMA基片上制备出了20个循环的PCR微流控芯片.芯片上微通道的宽为104μm,深为56μm,长为1040mm,芯片加工耗时57分钟.随后采用自己搭建的热压装置,定量讨论了热压键合的温度、压力和时间对芯片键合质量的影响,得出了PMMA基微流控芯片热压键合的最佳参数:95℃,160N,20min.并在该条件下成功地将PMMA基的20个循环的PCR微流控芯片和相同尺寸的盖片键合在一起,键合后的芯片具有良好的密封性,能够承受的最大压强为0.85Mpa,能满足进行PCR反应的要求.
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激光杂志
ISSN： 0253-2743
Year： 2006
Issue： 1
Volume： 27
Page： 75-77
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