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介绍了一种可工作于室温环境下的微型气动式红外探测器,它基于气体介质吸收特定波段的红外辐射后以无辐射气动方式激励并产生一系列热效应的物理基础,可获得包含红外辐射源信息的信号.建立了符合器件工作模式的有限元模型,采用流体-热-结构耦合方法分析了器件的机械行为以及气体介质的温度场分布,模拟并讨论了不同结构参数对器件性能的影响,为采用MEMS技术研制具有波长选择特性的非致冷气动式红外探测器提供了理论基础.
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微电子学与计算机
ISSN： 1000-7180
Year： 2004
Issue： 7
Volume： 21
Page： 168-170,180
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