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设计了一种新型TiW膜自加热结构,产生沿金属化条长方向的温度梯度。文中采用独立的实验和测温金属条结构,利用电阻与温度间的线性关系精确测定金属条上的温度分布,用电阻测温法直接确定电迁徙失效在金属化条上的分布,SEM分析与测试结果一致。不同温度梯度和无温度梯度条件下的实验结果表明,逆向温度梯度能显著提高金属化电徙动失效时间,这可以从温度梯度驱动的热扩散离子流作用得到解释。理论分析和实验结果表明,逆向温度梯度能将金属化电徙动空洞失效位置“推向”阳极,在逆向温度梯度作用下,首次发现了电徙动电阻变化的“新平衡现象”。
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固体电子学研究与进展
Year： 1998
Issue： 04
Page： 408-414
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