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陈光华 (陈光华.) | 张兴旺 (张兴旺.) | 季亚英 (季亚英.) | 严辉 (严辉.)

Indexed by:

CQVIP PKU CSCD

Abstract:

用热丝辅助化学汽相沉积技术在Si衬底上合成了含少量受主型杂质的近于本征的金刚石薄膜,并研究了三种金属(Cu,Ag和Al)与它接触的电学特性,以及退火对接触特性的影响.结果表明Cu,Ag与金刚石薄膜接触的电学特性比较类似,而Al则明显不同;而且退火对它们的接触特性影响很大

Keyword:

化学汽相沉积 热平衡载流子 外加电压 电学特性 金刚石薄膜 接触特性

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  • [ 1 ] 北京工业大学应用物理系
  • [ 2 ] 兰州大学物理系

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物理学报

Year: 1997

Issue: 06

Page: 149-153

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