Abstract：
飞秒激光以其超窄脉宽和超高光强等特性被广泛应用于各种金属材料的加工.本课题组采用波长为515 nm的绿光飞秒激光器对GH3230镍基高温合金进行刻蚀试验,研究了 GH3230高温合金的绿光飞秒激光刻蚀阈值、刻蚀率和极限刻蚀深度.结果表明:相比于红外飞秒激光,绿光飞秒激光的刻蚀阈值明显降低,刻蚀率显著提高;与红外飞秒激光刻蚀类似,随着刻蚀次数增加,刻蚀深度增大,但当刻蚀次数增加到一定值后,刻蚀深度出现饱和现象;激光能量密度越高,极限刻蚀深度越大;改变扫描策略进行双道刻蚀时,通过增加刻缝宽度可以增大刻蚀深度;激光诱导等离子体是影响刻蚀深度的主要因素.
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Source ：
中国激光
ISSN： 0258-7025
Year： 2023
Issue： 8
Volume： 50
Page： 51-57
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