Indexed by：
Abstract：
本发明提供一种振膜材料、制备方法及声波传感器；振膜材料包括硅膜和石墨烯膜；其中，所述石墨烯膜通过范德华力生长在所述硅膜上，形成石墨烯‑硅范德华异质结；所述硅膜的厚度在200纳米‑100微米之间；所述硅膜的表面粗糙度在0.0001微米‑0.01微米之间；所述石墨烯膜所包含的石墨烯层的层数小于或等于10层。
Keyword：
Reprint Author's Address：
Email：
Patent Info ：
Type： 发明申请
Patent No.： CN202310528757.7
Filing Date： 2023-05-11
Publication Date： 2023-08-25
Pub. No.： CN116639694A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 实质审查
Cited Count：
WoS CC Cited Count： 0
SCOPUS Cited Count：
ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
WanFang Cited Count：
Chinese Cited Count：
30 Days PV： 2
Affiliated Colleges：
