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一种制备β‑Ga2O3微米带的方法涉及半导体材料和光学技术领域。其以Ga2O3粉末和石墨粉为原料;球磨烘干、200目过筛;装入长条橡胶气球,压实封闭、抽真空,等静压下制成粗细、密度均匀的圆柱形料棒;将圆柱形料棒放入光学浮区炉中,设置浮区炉卤钨灯输出功率为720W/h,通入氧气,光照一定时间,经过光学气化过饱和析出的生长过程,制备β‑Ga2O3微米带,该微米带尺寸较大,形貌完整,可有效构建光电器件。加快了氧化镓的一维微纳结构生长的时间,节约了能源,降低了生产成本。
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Patent Info :
Type: 发明授权
Patent No.: CN202210859639.X
Filing Date: 2022-07-21
Publication Date: 2023-06-23
Pub. No.: CN115321584B
Applicants: 北京工业大学
Legal Status: 授权
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