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一种飞秒激光制备SiO2‑金属界面膨化微纳结构的方法，涉及飞秒激光微纳加工领域。该方法采用飞秒激光直写技术，将激光聚焦于SiO2(玻璃)‑金属薄膜交界面处，在界面处对金属薄膜进行烧蚀，形成凸起的微纳尺寸结构。利用中性密度衰减片对脉冲激光能量进行控制，利用位移台控制程序对三维位移台系统进行操纵，实现扫描速度以及扫描间距的控制，建立加工参数与膨化微纳结构尺寸相对应的参数数据库。
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Type： 发明授权
Patent No.： CN202110476522.9
Filing Date： 2021-04-29
Publication Date： 2023-02-07
Pub. No.： CN113182693B
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 授权
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