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本发明公开了一种薄膜铌酸锂表面制备微纳器件的方法，包括：在清洗、烘干后的薄膜铌酸锂衬底的上、下表面分别形成铬膜，作为上表面的掩膜和下表面的保护层；将光刻板图形转移到上表面掩膜上，而后将衬底放入质子交换炉中进行质子交换；将质子交换后的衬底冷却后，使用保护材料对衬底四周进行密封；将密封后的薄膜铌酸锂衬底放入氢氟酸和硝酸的混合溶液中进行湿法刻蚀；去除上表面的掩膜、下表面的保护层以及四周的密封，将衬底划片解理后使用化学机械抛光工艺进行端面处理。本发明采用质子交换工艺结合湿法工艺对薄膜铌酸锂材料刻蚀以制备微纳器件，可大大加快铌酸锂的刻蚀速率，得到性能优异、表面粗糙度低的薄膜铌酸锂基微纳器件。
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Type： 发明申请
Patent No.： CN202210928731.7
Filing Date： 2022-08-03
Publication Date： 2022-10-14
Pub. No.： CN115182052A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 实质审查
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