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本发明公开了一种提高超快激光光束聚焦能力的方法和装置，解决了超快激光聚焦过程中因常见自聚焦效应易引起光束发散角增大而导致聚焦光斑大于聚焦理论值的问题。本发明通过超快激光光束的扩展准直以及限制激光边缘能量的方式，消除激光束发散角增大现象，并通过等光程非球面透镜设计得到直径尺寸可到5μm以下的聚焦光斑，为超快激光精细加工，特别是微米尺度精细加工，提供有效保障。
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Type： 发明授权
Patent No.： CN201910206674.X
Filing Date： 2019-03-19
Publication Date： 2021-10-01
Pub. No.： CN110018565B
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 授权
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