Abstract：
采用脉冲激光沉积技术在石英基片上制备了ZnS∶Co薄膜,改变制备过程中石英基片的温度Ts,研究了基片温度对薄膜微结构及光学特性的影响.随着基片温度的升高,薄膜的厚度减小,结晶质量得到提升,并朝着(111)方向择优生长.受量子限域效应的影响,薄膜的光学带隙在基片温度为Ts=25℃时最大为3.83 eV,光学带隙先随基片温度增大而减小,并在基片温度为400℃时取得最小值3.5 eV,此后随基片温度增大而增大.此外,薄膜的折射率、消光系数、介电系数等光学参数随基片温度升高均有增大趋势.实验表明在基片温度达到400℃ 以上时,可以获得综合性能较好的微晶薄膜.
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真空科学与技术学报
ISSN： 1672-7126
Year： 2023
Issue： 9
Volume： 43
Page： 738-744
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