Abstract：
氢等离子体处理后的金刚石表面具有导电性,室温下二维空穴气(Two-dimensional hole gas,2DHG)面密度可达1013cm2,因此利用氢终端金刚石制备的场效应晶体管成为研究重点.本文基于金刚石优异的物理性质,介绍了两种氢终端金刚石2DHG的形成机理,以耗尽型氢终端金刚石MOSFET为例提出稳定2DHG及提高器件性能的方法,总结增强型氢终端金刚石MOSFET的三种实现方法,并综述氢终端金刚石功率器件研究现状、面临的问题以及对未来发展的展望.
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固体电子学研究与进展
ISSN： 1000-3819
Year： 2024
Issue： 3
Volume： 44
Page： 185-195
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