摘要 ：

本发明公开一种基于智能搅拌的增等材融合制造设备以及方法，集成可伸缩轧辊和搅拌摩擦加工装置，工作时由轧辊夹持被加工增材部件，使搅拌针在一定转速下对增材制造部件顶层进行搅拌加工。本发明在使用搅拌摩擦加工工艺解决增材制造部件中的缺陷、细化增材部件组织内部晶粒尺寸，具有结构简单，工艺可控，对被加工部件可起到消除缺陷、优化组织的效果，适用于铝、钛、镁合金的增等材一体加工中。

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摘要 ：

本发明提供了一种超薄晶圆转运装置，涉及半导体制造设备技术领域。该晶圆转运装置包括负压转运托盘和负压发生装置两部分。其特征在于：所述负压转运托盘和负压发生装置通过气压阀和压力枪活动接触方式连接，可分离。利用本发明提供的超薄晶圆转运装置和方法，可以实现超薄晶圆的加工、转运和晶圆级封装过程，对提高超薄晶圆的可制造性、降低晶圆加工损伤有重要意义。本发明具有如下特点：晶圆与转运托盘结合与分离采用真空吸附设计，实施方便，可重复利用，节约成本。负压转运托盘厚度较小，可应用于晶圆加工、转运和晶圆级封装过程，可有效提高超薄晶圆的可制造性。

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摘要 ：

本发明公开了一种具有可变参数连续加工与间歇加工的混合流水车间调度方法，分析了车间调度模型的加工阶段类型，构建了两种类型的加工阶段：具有可变参数连续加工阶段和间歇加工阶段，建立了由不同种类的加工阶段组成的混合流水车间调度模型。该模型通过以下步骤建立：建立调度模型的假设与要求；分析并建立工件/制造设备/运输设备的时间关系网；建立混合流水车间的完工时间数学模型与质量模型；构建该混合流水车间调度模型的多目标函数。本发明为混合流水车间建立了完工时间和质量的多目标模型，通过运用该模型解决由连续加工与间歇加工组成的混合流水车间调度问题。

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摘要 ：

直线滚动导轨副在现代机床和3D制造设备上发挥着不可替代的作用.研究滚珠与滚道之间结合面的接触问题是研究滚动运动副磨损问题、疲劳寿命问题和摩擦问题的基础.将离散化的多重求和公式代替连续积分采用最小余能原理对滚珠-滚道接触区应力及应变进行计算.计算结果同样精确的得到了接触区内的压力、变形分布,同时得到了不同预紧等级下应力、变形分布、压力及接触面积的变化规律.

关键词 ：

共轭梯度 应力分布 接触 最小余能 滚动导轨副

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一种大尺寸超薄晶圆的夹持装置涉及半导体制造设备技术领域。其结构简单，操作方便。包括设备支撑底座、吸盘部分、提手部分和电机驱动部分。其特征在于：所述支撑底座位于吸盘边缘且可进行旋转；所述吸盘由二个腔室组成，腔室之间通过可旋转轻质阀门隔开，两侧腔室侧壁各设进气阀门，吸盘上吸附结构由吸孔、凹槽和填充物质构成，吸盘底安置真空发生器；所述提手部分由提手臂和把手构成，提手臂与吸盘底部通过禁锢螺钉连接，把手与提手臂焊接连接；所述电机位于把手形成的空腔内部并由支撑臂支撑。可实现对超薄晶圆的拾取与传输，降低晶圆破片率。

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摘要 ：

一种大尺寸晶圆真空吸盘涉及半导体制造设备技术领域。其包括：吸持面、吸持面固定螺钉、上吸孔、下吸孔、吸盘、多孔物、开孔支撑垫、开孔支撑垫固定螺栓、气道接口、气道接口固定螺栓。吸持面与吸盘通过可拆卸螺钉连接，吸持面与吸盘之间有密封垫。上吸孔位于吸持面上表面，下吸孔位于吸持面下表面，上吸孔直径小于下吸孔。多孔物位于吸持面下方由开孔支撑垫支撑，开孔支撑垫由开孔支撑垫固定螺栓与吸盘底部固定。开孔支撑垫与吸盘底面形成空腔，吸盘底部中心区域设有气道接口。本发明可避免晶圆受力不均匀，防止吸盘堵塞。

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摘要 ：

随着数控技术、计算机技术、网络通信技术的发展以及智能制造系统的需要,DNC技术得到越来越广泛的应用.针对清华大学基础工业训练中心先进制造设备群的教学需求,分析了精雕、沈阳以及FANUC三种数控机床通信接口的特点,提出了一种基于以太网和TCP/IP协议的通信方案,运用C++语言在Qt环境下开发面向多平台的DNC网络通信系统,实现DNC主机与不同数控系统的机床之间的数据交互和程序传输,使数控实训教学有序、高效的进行,同时也提高了数控设备的利用率.

关键词 ：

DNC 多平台 数控系统 网络通信

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摘要 ：

一种大尺寸磨削晶圆表面腐蚀装置，属于半导体制造设备技术领域，其结构简单，操作方便。包括：支脚、回收槽、吸盘支架、吸盘、液体承载部分。回收槽上设有导轨、真空控制开关、废液排放口；吸盘支架内设抽真空管道；液体承载部分包括：滑块、支柱、横梁、导轨梁、移动板、酸液盛放槽、清水盛放槽、排液控制阀门、液体盛放槽固定螺栓。本发明可对磨削晶圆表面任意位置精确定位和进行腐蚀，与人工手动操作相比，较为方便高效，同时避免了人工手工操作受到腐蚀的危险。

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摘要 ：

为了快速高效、统一规范地开发制造设备网络监控服务系统(Web-MoniService),构建了一种集成式Web应用开发平台. 选用先进的J2EE(Java 2 platform enterprise edition)及XML(eXtensible markup language)技术作为技术手段,自行设计并开发了该Web应用开发平台. 其核心是一套Java的底层包,在JDK1.4/Servlet2.0、JSP2.2的基础上封装而成,可以适应从Web项目的构架到发布的中间所有过程. 给出了该平台在Web-MoniService中的应用.

关键词 ：

J2EE(Java 2 platform enterprise edition) Web应用 XML(eXtensible markup language) 网络监控

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摘要 ：

针对制造设备网络监控服务系统(Web-MoniService)的智能诊断特点,利用EJB组件技术,设计并实现了B/S模式的神经网络识别方法,详细剖析了开发过程中所用到的关键技术,最后结合金刚石笔钝化状态识别实例说明智能诊断方法的实现.

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