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梁琦 (梁琦.) | 王如志 (王如志.) (学者:王如志) | 杨孟骐 (杨孟骐.) | 王长昊 (王长昊.) | 刘金伟 (刘金伟.)

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摘要:

采用一种绿色的等离子增强化学气相沉积法,以Al_2O_3为衬底, Ga金属为镓源, N2为氮源,在不采用催化剂的情况下,成功制备获得了结晶质量良好的GaN纳米线.研究表明,生长温度可显著调控GaN纳米线的形貌,当反应温度为950℃时,生长出的GaN微米片为六边形;当反应温度为1000℃时,生长出了长度为10—20μm的超长GaN纳米线.随着反应时间增加, GaN纳米线的长度增加. GaN纳米线内部存在着压应力,应力大小为0.84 GPa.同时,也进一步讨论了GaN纳米线无催化剂生长机制. GaN纳米线光致发光结果显示, GaN纳米线缺陷较少,结晶质量良好,在360 nm处有一个较为尖锐的本征发...

关键词:

GaN纳米线 无催化剂 生长机理 等离子增强化学气相沉积

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学材料科学与工程学院新型功能材料教育部重点实验室

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来源 :

物理学报

年份: 2020

期: 08

卷: 69

页码: 300-305

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