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针对绝缘栅双极晶体管(IGBT)在过电流关断测试中被烧毁的问题,设计了三种不同的横向电阻区结构.为了分析器件的失效机理,研究不同结构横向电阻区对过电流关断能力的影响,借助Sentaurus TCAD仿真工具构建了器件模型,模拟了器件的整个过电流关断过程.对三种结构器件在过电流关断过程中的内部关键物理参量的变化情况进行分析,发现不同长度的横向电阻区对空穴的抽取效率不同,进而可以影响到电流密度分布.当电阻区增加到一定长度时,可以有效提升过电流关断能力,避免器件烧毁失效.
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微电子学
ISSN： 1004-3365
Year： 2020
Issue： 2
Volume： 50
Page： 262-266,271
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