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王伟来 (王伟来.) | 田英良 (田英良.) | 陈鑫鑫 (陈鑫鑫.) | 刘亚茹 (刘亚茹.) | 王为 (王为.) | 孙诗兵 (孙诗兵.) (学者:孙诗兵) | 吕锋 (吕锋.)

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摘要:

电子玻璃基板是平板显示关键基础材料,随着信息显示产业的发展,TFT-LCD、OLED等显示产品在玻璃表面镀膜刻蚀形成的半导体控制电路越来越精细,在低于玻璃应变点温度进行热处理加工,会导致玻璃结构致密化,使玻璃基板产生收缩效应,称为"再热收缩"。重点介绍了电子玻璃基板再热收缩率7种测试表征方法,包括密度法、拉丝法、模拟法、比长法、压痕法、膨胀仪法和激光法,并且对每种方法的测试原理、优缺点进行分析和阐述,综合而言,比长法和膨胀仪法可用于测量精度要求不高的玻璃品种,而激光法是最为精确和可靠的测量方法,可满足LTPS制程玻璃品种的再热收缩率测量。

关键词:

再热收缩率 收缩效应 测试方法 激光法 电子玻璃 膨胀仪法

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学材料科学与工程学院
  • [ 2 ] 平板显示玻璃技术和装备国家工程实验室
  • [ 3 ] 国家玻璃器皿产品质量监督检验中心

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来源 :

玻璃搪瓷与眼镜

年份: 2020

期: 03

卷: 48

页码: 41-47

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