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研究室温下通过直流磁控溅射方法制备高性能非晶ITO薄膜的光电特性,并分析不同结晶度的ITO薄膜对硅基异质结太阳电池性能的影响.结果 表明:非晶态的ITO薄膜具有高的载流子迁移率和高的光学透过率;当退火温度高于190℃时,随退火温度的上升,薄膜的结晶性逐渐增强,但其光学性能和电学性能都呈逐渐降低的趋势.通过优化退火温度可获得电阻率为4.83x10-4Ω·cm、载流子迁移率高达35.3 cm2/(V·s)且长波段相对透过率大于90％的高性能非晶ITO薄膜.对比普通工艺制备的微晶ITO薄膜,在242.5 cm2的硅基异质结(SHJ)太阳电池上采用非晶ITO薄膜作透明导电膜,其短路电流密度提高0.32 mA/cm2,可提升电池的光电转换效率.
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