为探讨电极表面发生变化的原因和烧蚀机理,为提升电极工作稳定性提供理论依据,分析了经过上万发次点灯测试的大功率脉冲氙灯稀土钨电极的表面形貌、元素深度分布及价态。结果表明:工作后的电极表面出现大量裂纹以及烧蚀坑;表面各元素主要由W,La,O三种元素组成,分布均匀;电极表面La以La3+形式存在,W存在原子态和+6价两种价态,占比分别为18.29%和81.71%;随刻蚀深度增加后,La的价态仍为+3价,W6+迅速减少直至W价态全部变为W0。