提出了一种应用于MEMS压力传感器的高精度Σ-ΔA/D转换器。该电路由Σ-Δ调制器和数字抽取滤波器组成。其中,Σ-Δ调制器采用3阶前馈、单环、单比特量化结构。数字抽取滤波器由级联积分梳状(CIC)滤波器、补偿滤波器和半带滤波器(HBF)组成。采用TSMC　0.35μm　CMOS工艺和Matlab模型对电路进行设计与后仿验证。结果表明,该Σ-ΔA/D转换器的过采样比为2　048,信噪比为112.3　dB,精度为18.36位,带宽为200　Hz,输入采样频率为819.2　kHz,通带波纹系数为±0.01　dB,阻带增益衰减为120　dB,输出动态范围为110.6　dB。