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罗登 (罗登.) | 李兴辉 (李兴辉.) | 张强 (张强.) | 胡银富 (胡银富.) | 刘伟 (刘伟.) | 冯进军 (冯进军.) | 王金淑 (王金淑.) (学者:王金淑)

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摘要:

设计了一种基于场发射阵列阴极的X射线管结构。制备了金属尖锥阵列场发射阴极,结果表明该阴极具有良好的电子发射能力和稳定性,在阳极电压为3400 V的条件下,发射电流达1.46 mA,电流密度达516.4 mA/cm~2,适合应用于X射线管中。利用CST粒子工作室仿真软件对X射线管的电子光学系统进行计算,得到了可行的结构方案,结构由阵列阴极、聚焦极和阳极组成,阴极与聚焦极等电位,该结构中阴极面积为10 mm×2 mm,总发射电流约为10 mA,满足X射线管的发射要求。阳极电子束斑大小为1 mm×1 mm,可得到有效焦点大小为0.58 mm×1 mm的X射线。研究为进一步制造高分辨率的场发射X射线管...

关键词:

X射线管 场发射 束斑 电子光学

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学材料科学与工程学院
  • [ 2 ] 北京真空电子技术研究所微波电真空器件国家级重点实验室

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来源 :

真空科学与技术学报

年份: 2018

期: 03

卷: 38

页码: 242-245

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