请登录 >
English| 简体中文| 繁体中文

  • 综合
  • 标题
  • 关键词
  • 摘要
  • 学者
  • 期刊-刊名
  • 期刊-ISSN
  • 会议名称
搜索

高级检索

作者：

吕朝晨 (吕朝晨.) | 王青 (王青.) | 尧舜 (尧舜.) | 周广正 (周广正.) | 于洪岩 (于洪岩.) | 李颖 (李颖.) | 郎陆广 (郎陆广.) | 兰天 (兰天.) | 张文甲 (张文甲.) | 梁辰余 (梁辰余.) | 张杨 (张杨.) | 赵风春 (赵风春.) | 贾海峰 (贾海峰.) | 王光辉 (王光辉.) | 王智勇 (王智勇.) (学者：王智勇)

收录：

CQVIP PKU CSCD

摘要：

采用金属有机物化学气相沉积设备生长InGaAs/AlGaAs应变多量子阱有源区和双氧化限制层的外延整体结构,利用断点监控电感耦合等离子体刻蚀技术、精确湿法氧化控制技术等芯片制造技术,实现了氧化孔径为7μm、相邻单元间隔为250μm的高速调制4×15Gbit/s　850nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)列阵。测试得到了VCSEL列阵的静态特性和动态特性:阈值电流为0.7　mA,斜效率为0.8　W/A;在6　mA工作电流下,工作电压为2.3V,光功率为4.5mW。在15Gbit/s调制速率下,眼图轮廓清晰,线迹很细,抖动较小且无明显串扰。对比列阵各单元在15Gbit/s调制速率下眼图的上升时间、...

关键词：

外延结构 激光光学 激光器 芯片工艺 金属有机物化学气相沉积 静态和动态特性 高速调制垂直腔面发射激光器列阵

作者机构：

  • [ 1 ] 北京工业大学激光工程研究院
  • [ 2 ] 上海交通大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室
  • [ 3 ] 华芯半导体科技有限公司

通讯作者信息：

电子邮件地址：

查看成果更多字段

相关关键词：

相关文章：

来源 ：

光学学报

年份： 2018

期： 05

卷： 38

页码： 149-155

被引次数：

WoS核心集被引频次： 0

SCOPUS被引频次：

ESI高被引论文在榜： 0 展开所有

万方被引频次：

中文被引频次：

近30日浏览量： 1

归属院系：

材料与制造学部 本学院/部未明确归属的数据

材料与制造学部 激光工程研究院

全文获取

图书馆发现搜索 百度学术搜索 中国知网
在线人数/总访问数：865/2908542
地址：北京工业大学图书馆(北京市朝阳区平乐园100号 邮编：100124) 联系我们：010-67392185
版权所有：北京工业大学图书馆 站点建设与维护：北京爱琴海乐之技术有限公司