针对准确与实时检测晶圆表面缺陷的需求,提出了一种基于主成分分析(Principal　Component　Analysis,PCA)和贝叶斯概率模型(Bayesian　Probability　Model,BPM)的在线检测算法;首先,改进双边滤波方法以消除晶圆表面图像中的噪声和突出晶圆缺陷的模式特征;然后,提取晶圆表面缺陷的Hu不变矩、方向梯度直方图(Histogram　of　Oriented　Gradients,HOG)和尺度不变特征变换特征(Scale　Invariant　Feature　Transform,SIFT);接着,采用PCA方法对特征进行降维;最后,在离线建模阶段构建正常晶圆表面...