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[期刊论文]
细长石英管内直流放电等离子体研究
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利用朗缪尔双探针等离子体诊断方法,研究了细长石英管内的低气压直流放电行为,探讨了细长管空间内的放电条件对等离子体参数的影响规律.结果表明:通过提高放电功率和增加阴极数目可以有效的提高等离子体密度,且当放电气压为100 Pa时,电子密度最大,本装置所测最大密度为1.03 x 1017m-3;电子温度则随着放电功率和放电气压的增大而不断减小;放电距离越远,对击穿电压要求越高,分段式放电可以在较低的放电电压下,对较远的电极距离实现直流放电.
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来源 ：
真空科学与技术学报
ISSN： 1672-7126
年份： 2018
期： 4
卷： 38
页码： 259-263
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