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摘要：
以成果导向OBE教学理念,对电子科学与技术专业基础课微电子工艺课程开放性、交互性的理论教学和实时性的实验教学展开研究.综合利用课堂讲授和动画视频等多媒体素材,结合生活常识提出问题引发思考,引导学生参与讨论,使理论课堂教学活泼开放,摆脱原有的枯燥乏味.开设交互式的工艺仿真训练,设计单步工艺仿真实验加深学生对工艺原理和工艺参数调整效果的理解;开设特定半导体器件完整工艺流程仿真,使学生深刻理解一套完整工艺流程的前后关联性.开展实时的微电子工艺实习,学生真实完整地完成一支双极晶体管的制作,可以更深刻理解工艺原理,理解工艺整合的前后关联性和整套工艺流程的完整性,理解半导体工艺技术所需的超净环境和安全操作,同时提高动手能力和团队合作精神.
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