研究了一种多层铜箔构成的叠片式表面结构,与铜块体同时在10-5　Pa真空下进行电子束热疲劳,电子束的功率密度28　MW/m2,循环3000次.采用扫描电子显微镜(SEM)对热疲劳后的铜箔与铜块体的表面损伤进行了分析,结果表明,由于铜箔处于单轴应力状态,表面产生的热应力较小,导致表面裂纹较细较少,且多产生垂直于箔片方向的裂纹,难以扩展.结合SEM照片,利用计算机图片处理软件,对叠片结构的铜箔与铜块体表面裂纹损伤进行了定量分析.结果表明,叠片结构的铜箔表面的裂纹密度和宽度均远小于铜块体,表现出更好的抗热疲劳开裂性能.而且,铜箔的厚度越小其抗热疲劳开裂性能越优异.该思路将为解决面向等离子体、非晶甩带冷却辊等材料的热疲劳问题提供有益参考.