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[期刊论文]
Si基PIN光电探测器电场隔离结构对暗电流的影响
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对Si基PIN光电探测器的电场隔离结构进行了研究,讨论了电场隔离结构的作用以及其与暗电流的关系,并进行了仿真模拟与测试分析。电场隔离结构主要将有源区和边缘隔离从而降低暗电流,结合仿真模拟结果和实验测试结果,分析得到电场隔离结构主要降低与周长有关的暗电流,对于小尺寸器件作用更明显。
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来源 ：
半导体光电
年份： 2017
期： 06
卷： 38
页码： 802-805
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