高级检索
检索提示：高级检索多个条件检索时是按照顺序运算的：如 A或B与C 即:(A或B)与C
[期刊论文]
β-Ga2O3薄膜掺杂工艺及性能研究进展
作者：
收录：
摘要：
β-Ga2O3薄膜因其禁带宽度大,稳定性高,生产成本低等优势,被认为是在光电探测器、发光器件等领域非常有前景的材料之一.但β-Ga2O3较低的导电率限制了其在某些领域的应用,通过掺杂技术改进β-Ga2O3薄膜在光学和电学的性能吸引了大量科研者的目光.本文介绍了几种常用的掺杂手段及掺杂对β-Ga2O3薄膜结构和光电特性的影响,并对以后的研究工作进行了展望.
关键词：
作者机构：
通讯作者信息：
电子邮件地址：
相关关键词：
相关文章：
2018，中国激光
2015，2015年全国电子显微学学术会议
2016，半导体光电
2014，中国真空学会2014学术年会
来源 ：
人工晶体学报
ISSN： 1000-985X
年份： 2017
期： 9
卷： 46
页码： 1683-1690
被引次数：
WoS核心集被引频次： 0
SCOPUS被引频次：
ESI高被引论文在榜： 0 展开所有
万方被引频次： -1
中文被引频次：
近30日浏览量： 0
归属院系：
理学部
全文获取
外部链接：
