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王元元 (王元元.) | 马捷 (马捷.) | 李辉 (李辉.) | 魏建忠 (魏建忠.) | 黄新壮 (黄新壮.)

收录:

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摘要:

目的增强金刚石与基体的界面结合能力。方法首先对金刚石粉体进行"除有机物→除油→粗化→烘干"处理。采用自制化学气相沉积装置,研究了以H_2和WF_6为反应气体在金刚石表面CVD法镀覆钨工艺。使用扫描电镜(SEM)、能谱(EDS)、X射线衍射(XRD)、透射电镜(SEM)等检测方法,分析了金刚石粉体镀层钨的微观形貌、成分、组织结构,对镀层包覆金刚石粉体相关性能进行了初步测试。结果在粒径约为223.6mm的金刚石表面获得均匀致密镀覆层的最佳工艺参数为:沉积温度670℃,沉积时间2 min,H_2通入量1 L/min,WF_6消耗量2 g/min。沉积温度为580℃时,获得的均匀致密钨镀层的厚度为15...

关键词:

化学气相沉积 抗弯强度 热膨胀系数 金刚石粉体 钨镀覆层

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学材料科学与工程学院

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来源 :

表面技术

年份: 2017

期: 02

卷: 46

页码: 98-102

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