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朱慧 (朱慧.) | 张迎俏 (张迎俏.) | 汪鹏飞 (汪鹏飞.) | 白子龙 (白子龙.) | 孟晓 (孟晓.) | 陈月圆 (陈月圆.) | 祁琼 (祁琼.)

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摘要:

针对脉冲激光沉积法制备的铁酸铋薄膜展开研究,利用电流–电压(I–V)特性曲线表征样品的阻变现象,对样品施加不同极性、大小的电压,其I–V曲线呈现出不同高低阻值的变化。通过对I–V曲线拟合,发现样品的导电机制符合空间电荷限制电流。结合正向电压下从高阻到低阻的转变,负向电压下从低阻到高阻的转变规律,验证样品的阻变效应符合陷阱能级的填充和脱陷,即陷阱能级的填充程度不同导致电极与铁酸铋界面势垒高度不同从而导致薄膜阻值的变化。

关键词:

导电机制 空间电荷限制电流 阻变效应 陷阱填充与脱陷

作者机构:

  • [ 1 ] 北京工业大学电子信息与控制工程学院
  • [ 2 ] 复旦大学微电子学院
  • [ 3 ] 中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程研究中心

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来源 :

硅酸盐学报

年份: 2017

期: 04

卷: 45

页码: 467-471

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