反射光损伤影响了大功率半导体激光器在工业加工中的进一步应用,为了解决大功率半导体激光器工业应用中遇到的问题,对大功率半导体激光器防反射光损伤技术的研究具有重要意义。利用半导体激光线偏振光的特性,采用偏振分光镜和λ/4波片的组合装置,实现大功率半导体激光器的主动防反射光损伤;结合利用光电监测单元对反射光强度进行监测,反射光强度高于损伤阈值时,关闭激光输出,实现被动防反射光损伤,研制出了既具有主动防反射光损伤功能又具有被动防反射光损伤功能的防反射光损伤装置,可应用于工业加工用的大功率半导体激光器中。