相变材料GeSbTe亚稳相中的局域结构长期以来一直是研究的热点,特别是亚稳相中Ge原子的分布对相变过程的进行具有重要作用。本文主要利用透射电子显微学,电子衍射技术和基于电子衍射技术的径向分布函数对不同时效温度时效过程中GeSb_2Te_4亚稳相的原子结构进行了深入研究。通过对径向分布函数的研究表明:250℃时效60min时GeSb_2Te_4亚稳相中几乎所有的Ge原子都位于四面体位置,局域形成类尖晶石结构;而时效温度为150℃、200℃下分别时效60min时发现没有或者几乎没有Ge原子位于四面体位置,时效后的结构以岩盐矿结构为主,部分晶化为六方结构。