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吴月芳 (吴月芳.) | 郭伟玲 (郭伟玲.) | 陈艳芳 (陈艳芳.) | 雷亮 (雷亮.)

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摘要:

作为宽禁带半导体器件,GaN基肖特基势垒二极管(SBD)有耐高压、耐高温、导通电阻小等优良特性,这使得它在电力电子等领域有广泛应用.本文首先综述了SBD发展要解决的问题;然后,介绍了GaN SBD结构、工作原理及结构优化研究进展;接下来,总结了AlGaN/GaN SBD结构、工作原理及结构优化研究进展,并着重从AlGaN/GaN SBD的外延片结构、肖特基电极结构以及边缘终端结构等角度,阐述了这些结构的优化对AlGaN/GaN SBD性能的影响;最后,对器件进一步的发展方向进行了展望.

关键词:

边缘终端 肖特基势垒二极管(SBD) 肖特基电极 外延片 结构优化

作者机构:

  • [ 1 ] [吴月芳]北京工业大学
  • [ 2 ] [郭伟玲]北京工业大学
  • [ 3 ] [陈艳芳]北京工业大学
  • [ 4 ] [雷亮]北京工业大学

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来源 :

发光学报

ISSN: 1000-7032

年份: 2017

期: 4

卷: 38

页码: 477-486

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