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刘志峰 (刘志峰.) (Scholars:刘志峰) | 文俊武 (文俊武.) | 蔡力钢 (蔡力钢.) (Scholars:蔡力钢) | 陈国英 (陈国英.) | 王倩蕾 (王倩蕾.) | 杨聪彬 (杨聪彬.)

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Abstract:

为了解决硅片厚度在0.1 mm以下时,激光传感器扫描检测容易发生硅片漏扫的问题,提出一种基于OpenCV的硅片层级分布定位检测方法,利用图像预处理技术得到各层级硅片前边缘轮廓样本库,将测试图像的边缘轮廓与样本库中的图像依次做差值运算,从而通过像素点总和是否达到规定阈值来判定该层是否存在硅片,从而达到硅片层级分布定位检测的目的.结果表明:该方法能够有效提高硅片盒中0.1 mm以下硅片层级分布定位检测的可靠性,且算法简单,实时性及兼容性较好.

Keyword:

定位检测 硅片传输 视觉检测 OpenCV

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  • [ 1 ] 北京工业大学先进制造技术北京市重点实验室
  • [ 2 ] 北京工业大学科学发展院

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Source :

北京工业大学学报

Year: 2017

Issue: 07

Volume: 43

Page: 996-1002

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