系统地研究产业化甚高频等离子体增强化学气相沉积法制备p型a-SiOx∶H薄膜的工艺,并将p型a-SiOx∶H作为a-Si∶H单结电池的窗口层,研究其对电池初始和稳定性能的影响.研究表明CO2与SiH4流量比(r(CO2/SiH4))、射频功率对a-SiOx∶H薄膜的光电性能影响最大,r(CO2/SiH4)=1.5和功率=444　W时制备的p型a-SiOx∶H薄膜材料性能最优.相对于a-SiCx∶H的p型窗口层,采用优化的p型a-SiOx∶H薄膜作为窗口层的a-Si∶H单结电池具有相同的初始发电功率,但具有更好的稳定性能,降低了光致衰减.电池的光致衰减率相对降低11.2％,功率输出的稳定性相对提升2％.